Semi-conducteurs : Technique de mesure de la température pour la fabrication de semi-conducteurs
Microprocesseurs ou puces semi-conductrices nous accompagnent tout le temps et partout – de la machine à café au serveur industriel. Les capteurs de température sont nécessaires sur l’ensemble du processus de fabrication de semi-conducteurs : de la fabrication de wafers au dopage en passant par la métallisation et l’emballage finaux. RÖSSEL-Messtechnik est adapté aux conditions de fabrication spécifiques de l’industrie de semi-conducteurs. Notre expertise comprend l’utilisation de matériaux et de combinaisons de matériaux spécifiques rendant possible les applications les plus sensibles. En font partie l’utilisation de verre de quartz et la combinaison avec de la céramique, par exemple pour les tubes de protection en quartz, saphir et silicium.
Les thermocouples étanches à la pression et au vide, les thermocouples haute température et les capteurs résistants à la corrosion pour les processus de gravure font également partie des domaines de spécialisation de RÖSSEL-Messtechnik. RÖSSEL-Messtechnik utilise une salle blanche de classe 5 spécialement pour l’industrie des semi-conducteurs. Nous pouvons ainsi garantir le respect des exigences de qualité les plus élevées.
Quel que soit le processus concerné, nos experts sont les interlocuteurs qu’il vous faut !
« Vous souhaitez optimiser le rendement de vos puces avec des données de mesure intelligentes ?
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Lors des processus de gravure pour la fabrication de semi-conducteurs, les thermomètres à résistance fournissent une mesure très précise de la température. Des revêtements spéciaux en plastiques résistants aux acides protègent les capteurs de température contre les acides et les vapeurs.
Lors de la séparation physique ou chimique des gaz dans des fours horizontaux et verticaux, seuls des thermocouples sont utilisés.
Des Spike Thermocouples sont utilisés sur la surface des tubes de processus pour l’alimentation du chauffage. Ils sont reliés par des éléments de fixation en céramique spéciaux qui pressent le capteur de manière optimale contre la surface en quartz. À l’intérieur se trouvent des thermocouples de profil pour surveiller le processus. Des wafers avec thermocouples pour la surveillance directe des processus (assurance qualité) sont utilisés pour l’étalonnage et la détermination du profil de température dans le four.
Pour la mesure de température dans les installations de dopage, nous proposons entre autres des thermocouples multipoints spéciaux. Ils sont principalement utilisés comme thermocouples multipoints à 5 points et fabriqués à partir de métaux précieux. L’utilisation de verre de quartz et la combinaison de céramiques sont adaptées aux conditions particulières dans les installations de dopage.
Pour la mesure de la température dans ces installations de cristallogenèse, on utilise des thermocouples haute température spéciaux qui doivent également résister à des rapports de pression changeants : du vide élevé à une pression de 200 bar.
Le défi pour les thermomètres dans la fabrication d’emballages est de devoir mesurer la température très rapidement lorsque du plastique liquide enrobe la puce. Ce sont exclusivement des thermocouples gainés très fins et robustes avec des temps de réaction très courts qui sont utilisés.
Augmentation du rendement des puces grâce à la mesure de la température du profil
L’assurance qualité des processus de fabrication est décisive dans l’industrie des semi-conducteurs pour le rendement des puces. Des thermocouples miniatures sont requis pour le revêtement des wafers, et assurent un revêtement uniforme à des températures de 700 °C. Le défi est d’accompagner les processus avec un maximum de capteurs, mais sans les influencer. C’est pour cela que RÖSSEL-Messtechnik a développé un wafer d’essai qui peut être équipé avec presque n’importe quel nombre de capteurs, et utilisé sous vide. Les capteurs sont installés sans colle et peuvent être redémontés et ré-étalonnés sans être endommagés – pour une qualité maximale du processus ainsi que des économies en matière de ressources et de coûts.